湖南健坤精密科技有限公司王青海获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南健坤精密科技有限公司申请的专利用于晶圆表面清洁的高效激光清洗方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120527221B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510983294.2，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权用于晶圆表面清洁的高效激光清洗方法及系统是由王青海;胡左厚;袁颖设计研发完成，并于2025-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆表面清洁的高效激光清洗方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体器件处理技术领域，具体涉及用于晶圆表面清洁的高效激光清洗方法及系统。该方法获取晶圆的表面图像；提取晶圆的表面图像中的杂质区域；分析杂质区域的形态特征，确定杂质区域的特征杂质系数；分析杂质区域的颜色特征，确定杂质区域的有机残留系数；基于特征杂质系数和有机残留系数分别对杂质区域进行分类，得到多个杂质类别；根据每个杂质区域的所属杂质类别，对杂质区域的初始激光清洗功率进行调节，得到修正激光清洗功率；根据修正激光清洗功率和杂质区域之间的路径，确定出晶圆清洗的最优清洗路径。本发明实现了对晶圆表面的高效清洁。
本发明授权用于晶圆表面清洁的高效激光清洗方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆表面清洁的高效激光清洗方法，其特征在于，该方法包括以下步骤： 获取晶圆的表面图像；提取晶圆的表面图像中的杂质区域；其中，所述杂质区域的获取方法为：拟合出晶圆的表面图像的灰度直方图的包络线，确定出包络线上的峰值；获取每个峰值的均值，作为表征灰度值；以所述表征灰度值对应的像素点作为种子点，基于所述种子点进行区域生长，得到多个生长区域；将面积最大的生长区域之外的其它生长区域，作为晶圆的表面图像中的杂质区域； 分析所述杂质区域的形态特征，确定杂质区域的特征杂质系数；分析所述杂质区域的颜色特征，确定杂质区域的有机残留系数；基于特征杂质系数和有机残留系数分别对杂质区域进行分类，得到多个杂质类别； 根据每个杂质区域的所属杂质类别，对杂质区域的初始激光清洗功率进行调节，得到修正激光清洗功率； 根据修正激光清洗功率和杂质区域之间的路径，确定出晶圆清洗的最优清洗路径。
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