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龙图腾网获悉埃克斯控股(北京)有限公司申请的专利基于IMP的智能束流调校方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120610527B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511105719.6，技术领域涉及：G05B19/418；该发明授权基于IMP的智能束流调校方法、装置、设备及存储介质是由傅慧初;李俊敏;付锦超;刘斌;李倓;李杰设计研发完成，并于2025-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于IMP的智能束流调校方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明涉及信息处理技术领域，尤其涉及一种基于IMP的智能束流调校方法、装置、设备及存储介质，通过KVM切换器实时获取每台IMP机台的操作界面图像，利用OCR视觉算法识别并提取操作界面图像中的当前束流参数和实时状态标识，获取当前晶圆批次号的工艺要求数据，将参数及状态数据和工艺要求数据进行整合，对整合数据进行数据清洗和归一化处理，得到预处理数据集，利用AI决策模型基于预处理数据集分析当前机台束流状态与目标工艺要求的差异信息，并根据差异信息计算出最优束流调校参数，提高调校精准度，适配复杂工艺要求，根据最优束流调校参数生成控制指令，IMP机台根据控制指令调整相关硬件模块参数，提升智能化水平。

本发明授权基于IMP的智能束流调校方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种基于IMP的智能束流调校方法，其特征在于，包括： 通过KVM切换器实时获取每台IMP机台的操作界面图像，利用OCR视觉算法识别并提取所述操作界面图像中的当前束流参数和实时状态标识； 将所述当前束流参数和所述实时状态标识转化为结构化的参数及状态数据，从EAP第三方系统中获取当前晶圆批次号的工艺要求数据； 将所述参数及状态数据和所述工艺要求数据进行整合，得到整合数据，对所述整合数据进行数据清洗和归一化处理，得到预处理数据集； 将所述预处理数据集输入到预设的AI决策模型中，利用所述AI决策模型基于所述预处理数据集分析当前机台束流状态与目标工艺要求的差异信息，并根据所述差异信息计算出最优束流调校参数，对所述最优束流调校参数进行合规性校验，所述合规性校验包括安全阈值校验和工艺规范校验； 当校验通过时，则根据所述最优束流调校参数生成控制指令，通过所述KVM切换器将所述控制指令发送到所述IMP机台，以使所述IMP机台根据所述控制指令调整相关硬件模块参数。

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