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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利一种调节掩膜卷材平整度的系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120619123B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511135569.3，技术领域涉及：B21D3/05；该发明授权一种调节掩膜卷材平整度的系统是由王杰;叶大成;冯志恒;龚月良;彭瑞欣设计研发完成，并于2025-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种调节掩膜卷材平整度的系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种调节掩膜卷材平整度的系统。该系统包括在若干输送辊构成掩膜卷材水平直线传输区域、平整度调节滚轮组、线激光扫描仪和计算处理模块；平整度调节滚轮组的所有滚轮抵压掩膜卷材的分段区域叠加后完全覆盖掩膜卷材的宽度。计算处理模块通过线激光扫描仪持续获取线激光在扫描区掩膜上表面形成反射光带变形图像输入到预先训练好的轻量级二分神经网络以确定扫描区内掩膜卷材的平整度是否合格。当掩膜卷材平整度不合格时，根据扫描区内掩膜卷材上表面的连续横截面轮廓，辅助调节平整度调节滚轮组各滚轮的高度，直至该扫描区内掩膜卷材的平整度合格。本发明提供的技术方案能够在掩膜卷材传输过程中快速平整度，提高掩膜卷材生产的效率。

本发明授权一种调节掩膜卷材平整度的系统在权利要求书中公布了：1.一种调节掩膜卷材平整度的系统，其特征在于，该系统包括：若干输送辊，平整度调节滚轮组，线激光扫描仪和计算处理模块； 所述若干输送辊的转轴方向均为Y轴方向、在X轴方向排列成一条直线以形成掩膜卷材水平直线传输区域；所述平整度调节滚轮组包括多个滚轮和相应的高度调节机构，每个滚轮在Y轴方向上抵压掩膜卷材的一个分段区域，所有滚轮抵压掩膜卷材的分段区域叠加后在Y轴方向完全覆盖掩膜卷材；掩膜卷材先经过所述平整度调节滚轮组的作业区，再通过所述线激光扫描仪的扫描区； 所述计算处理模块持续通过所述线激光扫描仪获取线激光在掩膜卷材上表面形成的反射光带变形图像，基于所述反射光带变形图像实时确定扫描区内的掩膜卷材平整度是否合格；不合格，则计算掩膜卷材上表面的连续横截面轮廓图像，基于所述连续横截面轮廓图像控制所述若干输送辊暂停输送掩膜卷材、并控制平整度调节滚轮组进行平整度调节，直至所述扫描区内的掩膜卷材平整度合格后停止平整度调节、并控制所述若干输送辊继续输送掩膜卷材。

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