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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利一种测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120627924B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511141034.7，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种测量方法是由葛正;相宇阳;俞胜武设计研发完成，并于2025-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种测量方法。其中，测量系统包括：光源模块，用于提供可见光线和近红外光线；反射光谱量测模块，用于接收经待测样品表面反射的可见光线并生成反射光谱；光谱域干涉量测模块，用于接收干涉光线并生成干涉光谱；控制模块，控制模块分别与反射光谱量测模块和光谱域干涉量测模块通信连接，用于接收反射光谱和干涉光谱，并根据反射光谱和干涉光谱确定待测样品的膜厚和折射率。本发明的技术方案既可以采用光谱反射测量原理，也可以采用光谱域干涉测量原理，还可以结合两者使用，保证在不同待测样品类型下选取不同的测量方式，提高了测量系统的精确性，可以灵活应对不同类型、厚度的待测样品的测量需求。

本发明授权一种测量方法在权利要求书中公布了：1.一种测量方法，其特征在于，应用于测量系统中；所述测量系统包括：光源模块，用于提供可见光线和近红外光线；所述近红外光线包括参考光线和测量光线；所述可见光线和所述测量光线入射至待测样品； 反射光谱量测模块，用于接收经所述待测样品表面反射的所述可见光线并生成反射光谱； 光谱域干涉量测模块，用于接收干涉光线并生成干涉光谱；其中，所述干涉光线为所述参考光线和透射所述待测样品的所述测量光线发生干涉后产生的光线； 控制模块，所述控制模块分别与所述反射光谱量测模块和所述光谱域干涉量测模块通信连接，用于接收所述反射光谱和所述干涉光谱，并根据所述反射光谱和所述干涉光谱确定所述待测样品的膜厚和折射率； 所述测量方法包括： 获取反射光谱、参考光谱、参考反射率和理论反射率；其中，所述参考光谱为经参考样品表面反射的可见光线生成的光谱；所述参考反射率为所述参考样品的反射率； 根据所述反射光谱、所述参考光谱和所述参考反射率确定实际反射率；其中，所述反射光谱、所述参考光谱和所述参考反射率和所述实际反射率之间满足； 根据所述反射光谱确定的最小值；其中，λ为波长；为所述实际反射率；为所述理论反射率；为折射率；为膜厚； 根据所述最小值确定待测样品的膜厚和折射率； 或者，当所述待测样品包括层叠设置的薄膜和衬底；所述干涉光谱包括第一干涉信号和第二干涉信号；所述第一干涉信号为所述薄膜的干涉信号；所述第二干涉信号为所述衬底的干涉信号时，所述测量方法包括： 获取所述第一干涉信号、所述第二干涉信号和测量干涉信号；其中，所述测量干涉信号为无所述待测样品时参考光线和测量光线发生干涉后得到的干涉光谱信号； 根据所述第二干涉信号和所述测量干涉信号确定无膜层光程差、第一光程差和第二光程差； 根据所述无膜层光程差、所述第一光程差和所述第二光程差确定第一位置处所述衬底的折射率和所述衬底的厚度；其中，所述无膜层光程差、所述第一光程差、所述第二光程差和所述衬底的厚度之间满足；所述衬底的折射率、所述第一光程差和所述衬底的厚度之间满足； 根据所述第一干涉信号确定薄膜的第三光程差、第四光程差和第五光程差； 根据所述第三光程差、所述第四光程差、所述第五光程差、所述衬底的折射率和所述无膜层光程差确定所述薄膜的折射率和所述薄膜的厚度； 或者，当所述待测样品包括层叠设置的薄膜和衬底；所述反射光谱为所述薄膜的光谱信号；所述干涉光谱为所述衬底的干涉信号时，所述测量方法包括： 获取反射光谱、参考光谱、参考反射率和理论反射率； 根据所述反射光谱、所述参考光谱信号、所述参考反射率和所述理论反射率确定所述薄膜的厚度和所述薄膜的折射率； 获取所述干涉光谱和测量干涉信号； 根据所述干涉光谱和所述测量干涉信号确定无膜层光程差、第一光程差和第二光程差； 根据所述无膜层光程差、所述第一光程差和所述第二光程差确定所述衬底的折射率； 建立所述衬底的折射率、所述薄膜的厚度、所述薄膜的折射率、所述衬底的厚度和理论干涉模型之间的关系；其中，所述衬底的折射率、所述薄膜的厚度、所述薄膜的折射率、所述干涉光谱、所述衬底的厚度和所述理论干涉模型之间满足； 其中，λ为波长；、、和为光强系数； 根据所述理论干涉模型和所述干涉光谱确定的最小值； 根据所述最小值确定所述衬底的厚度。

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