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龙图腾网获悉珠海诚锋电子科技有限公司申请的专利一种晶圆六面检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120637262B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511127430.4，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种晶圆六面检测设备是由孙元宏;陈杰;许金城设计研发完成，并于2025-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆六面检测设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆六面检测设备，涉及晶圆检测技术领域，包括设备检测平台以及数控龙门桁架，设备检测平台的顶端一侧设置有用于承载待检测样品的上料模组和承载检测后样品的合格下料模组，上料模组和合格下料模组之间设置有上料中转纠偏模组，设备检测平台的顶端另一侧安装有用于对样品进行检测的六面检测模组和用于分离不合格样品的NG下料模组，合格下料模组和NG下料模组之间设置有下料中转纠偏模组，通过上料中转纠偏模组对晶圆进行纠正后，放入检测工位上对晶圆进行六面检测，检测完成后通过下料中转纠偏模组再次纠正，检测合格的晶圆通过合格下料模组有序地摆放到载具内，不合格晶圆则通过NG下料模组进行NG下料处理。

本发明授权一种晶圆六面检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆六面检测设备，包括设备检测平台1以及设置于其顶端的数控龙门桁架2，其特征在于：所述设备检测平台1的顶端一侧设置有用于承载待检测样品的上料模组3和承载检测后样品的合格下料模组4，所述上料模组3和合格下料模组4之间设置有上料中转纠偏模组5，所述设备检测平台1的顶端另一侧安装有用于对样品进行检测的六面检测模组6和用于分离不合格样品的NG下料模组7，所述合格下料模组4和NG下料模组7之间设置有下料中转纠偏模组8； 所述上料中转纠偏模组5包括设置于设备检测平台1顶端的调整架51，所述调整架51的顶端设置有活动底座52，所述活动底座52的顶端设置有纠偏台53，所述纠偏台53的顶端固定连接有第一吸附台54； 所述六面检测模组6包括设置于设备检测平台1顶端的转盘61，所述转盘61上设置有若干个检测工位62，每个所述检测工位62上均设置有第二吸附台63，所述转盘61的外侧安装有六个晶圆检测装置64，所述数控龙门桁架2的底端一侧安装有取料组件65，所述取料组件65的位置与纠偏台53的位置相对应，所述纠偏台53的位置与检测工位62的位置相对应； 所述数控龙门桁架2的一端安装有上料机器人9和第一下料机器人10，所述上料机器人9位于上料模组3和上料中转纠偏模组5之间，所述合格下料模组4上安装有用于存放合格晶圆的载具11，所述上料中转纠偏模组5和下料中转纠偏模组8的结构相同； 所述数控龙门桁架2的另一端安装有第二下料机器人12，所述第二下料机器人12的结构与第一下料机器人10结构相同，所述第二下料机器人12位于NG下料模组7和检测工位62之间。

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