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龙图腾网获悉上海果纳半导体技术有限公司申请的专利一种晶圆传输设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120656984B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511145575.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆传输设备是由何川;王圣兵;葛敬昌;薛增辉;张欢;叶莹设计研发完成，并于2025-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆传输设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆传输设备，包括壳体，壳体包括与晶圆装载装置对接的清洁腔室，清洁腔室顶部设置有过滤器，过滤器上压接有一个罩盖，晶圆传输设备还包括一个用于升降罩盖的升降装置。升降装置包括承压件、连杆机构、导向机构和驱动机构，承压件与罩盖固定，驱动机构通过连杆机构驱动承压件上下移动，导向机构对承压件的移动进行导向以让承压件仅能上下移动。晶圆传输设备通过升降装置可快速提升罩盖，便于更换所有过滤器的滤纸，同时能压紧罩盖，保证晶圆传输设备内清洁腔室的清洁度。

本发明授权一种晶圆传输设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输设备，其特征在于：包括壳体，所述壳体包括与晶圆装载装置对接的清洁腔室，所述清洁腔室顶部设置有过滤器，所述过滤器上压接有罩盖，所述晶圆传输设备还包括用于升降所述罩盖的升降装置，所述升降装置包括： 承压件，固定在所述罩盖的上表面且沿水平面的第一方向间隔设置两个，所述承压件沿水平面的第二方向的两端延伸出所述罩盖，所述承压件延伸部分开设有槽体； 连杆机构，所述连杆机构包括沿第二方向间隔设置的两组连杆组件，所述连杆组件包括沿第一方向间隔设置的两个第一摆杆和枢转在两个所述第一摆杆之间的第一连杆，两个所述连杆组件通过与对应的所述第一摆杆固定的第二连杆联动，所述第一摆杆包括上下布置的第一部和第二部，所述第一部和所述第二部的连接处与和壳体固定的支座枢转连接，所述第二部和竖直面之间形成夹角且所述第二部向所述承压件倾斜，所述第二部的部分能嵌入所述槽体以使所述第一摆杆摆动时能向上或向下顶压所述承压件，一个所述第一摆杆上固定有与其同步摆动的第二摆杆； 导向机构，包括开设在所述支座上的通孔和仅能沿所述通孔上下移动的导向杆，所述导向杆与所述承压件固定连接； 驱动机构，包括沿第一方向延伸的丝杆和与所述丝杆螺纹连接的螺母座，所述螺母座沿第一方向移动时能通过所述第二摆杆推动所述第一摆杆摆动。

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