安徽中科光栅科技有限公司陈火耀获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽中科光栅科技有限公司申请的专利一种基于直流辉光放电等离子体的基片处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223465256U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422848047.5，技术领域涉及：B08B7/00；该实用新型一种基于直流辉光放电等离子体的基片处理装置是由陈火耀;杨高元;刘斌;王军设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于直流辉光放电等离子体的基片处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基于直流辉光放电等离子体的基片处理装置，包括工艺腔室、设置在工艺腔室内的放电装置、基片固定装置、位于工艺腔室外的直流高压电源，以及与工艺腔室连接的抽真空装置。工艺腔室上还连通设置有用于进气和放气的气路系统，直流高压电源与放电装置之间设置有电极法兰，所述电极法兰两侧分别与直流高压电源和所述放电装置连接，电极法兰尾部设置有冷却装置。本方案通过直流辉光放电等离子体技术对基片进行清洁处理，增加基片与胶体之间的粘附力，避免在后续的工艺过程中出现脱胶的问题。本方案通过设置工艺腔室、放电装置、直流高压电源和抽真空装置等实现基片处理工艺，结构简单，可适用不同规格基片处理，满足使用要求。
本实用新型一种基于直流辉光放电等离子体的基片处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基于直流辉光放电等离子体的基片处理装置，其特征在于：包括工艺腔室、设置在所述工艺腔室内的放电装置、基片固定装置、位于所述工艺腔室外的直流高压电源，以及与所述工艺腔室连接的抽真空装置； 所述工艺腔室上还连通设置有用于进气和放气的气路系统，所述直流高压电源与所述放电装置之间设置有电极法兰，所述电极法兰两侧分别与所述直流高压电源和所述放电装置连接，所述电极法兰尾部设置有冷却装置。
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