江苏格朗瑞科技有限公司马以洋获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏格朗瑞科技有限公司申请的专利一种晶圆激光加工同轴多倍率共用视觉成像模组获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223465708U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422686869.8,技术领域涉及:B23K26/03;该实用新型一种晶圆激光加工同轴多倍率共用视觉成像模组是由马以洋;宋亚军;张磊设计研发完成,并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆激光加工同轴多倍率共用视觉成像模组在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆激光加工同轴多倍率共用视觉成像模组,包括光源模组、高倍成像模组及中倍成像模组;高倍成像模组包括依次同轴设置的高倍CCD、2X透镜及成像聚焦镜,以及设置在2X透镜与成像聚焦镜之间用于接受光源模组照明并实现分光的分光镜二;中倍成像模组包括同轴设置的中倍CCD与1X透镜,设置在分光镜二与成像聚焦镜之间用于接受光源模组照明并实现分光的分光镜一,以及设置在1X透镜下发并用于接受分光镜一分光的反射镜一;且中倍CCD与成像聚焦镜为旁轴共焦。本实用新型实现了不同倍率成像模组的整合,可在同一视野轴心使用两种倍率进行成像。
本实用新型一种晶圆激光加工同轴多倍率共用视觉成像模组在权利要求书中公布了:1.一种晶圆激光加工同轴多倍率共用视觉成像模组,其特征在于:包括光源模组、高倍成像模组及中倍成像模组; 所述高倍成像模组包括依次同轴设置的高倍CCD8、2X透镜7及成像聚焦镜4,以及设置在所述2X透镜7与成像聚焦镜4之间用于接受所述光源模组照明并实现分光的分光镜二6; 所述中倍成像模组包括同轴设置的中倍CCD1与1X透镜2,设置在所述分光镜二6与成像聚焦镜4之间用于接受所述光源模组照明并实现分光的分光镜一5,以及设置在所述1X透镜2下发并用于接受所述分光镜一5分光的反射镜一3;且所述中倍CCD1与成像聚焦镜4为旁轴共焦; 所述2X透镜7、分光镜二6、分光镜一5及成像聚焦镜4设置在镜筒一内,所述1X透镜2及反射镜一3设置在镜筒二内。
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