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麦斯克电子材料股份有限公司王海君获国家专利权

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龙图腾网获悉麦斯克电子材料股份有限公司申请的专利一种晶圆倒角用卡装工件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223466113U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423011415.7,技术领域涉及:B24B41/06;该实用新型一种晶圆倒角用卡装工件是由王海君;杨林发;李战国;韩天浩设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆倒角用卡装工件在说明书摘要公布了:一种晶圆倒角用卡装工件,包括安装基板、夹持调整组件以及联动驱动组件;安装基板上设有两个连接口;夹持调整组件包括左移动板、右移动板以及上移动板,左移动板、右移动板以及上移动板上均固定有多个夹持柱,任意一个夹持柱上均设有一个转动调整套;联动驱动组件包括第一齿条、中间齿轮、第二齿条、水平驱动件以及升降驱动件,第一齿条与第二齿条平行并滑动设置,右移动板通过第一连接滑板与第一齿条连接,左移动板通过第二连接滑板与第二齿条连接,第一齿条与第二齿条均与中间齿轮啮合,水平驱动件与第一齿条连接驱动右移动板与左移动板同步朝向相对方向移动,升降驱动件与上移动板连接。本实用新型能够快速夹持卡住晶圆并微调矫正晶圆的角度。

本实用新型一种晶圆倒角用卡装工件在权利要求书中公布了:1.晶圆倒角用卡装工件,其特征在于:包括安装基板1、设置在安装基板1正面的夹持调整组件2以及设置在安装基板1背面的联动驱动组件4;安装基板1上对称开设有两个供夹持调整组件2与联动驱动组件4连接的连接口101; 夹持调整组件2包括左移动板201、右移动板204以及上移动板203,上移动板203设置在左移动板201与右移动板204上端部之间,左移动板201、右移动板204以及上移动板203上分别垂直固定有多个夹持柱202,任意一个夹持柱202上均转动套设有一个转动调整套2021; 联动驱动组件4包括第一齿条402、中间齿轮404、第二齿条406、水平驱动件403以及升降驱动件407,第一齿条402与第二齿条406相互平行并分别滑动设置在安装基板1上,右移动板204通过第一连接滑板408与第一齿条402连接,左移动板201通过第二连接滑板405与第二齿条406连接,第一齿条402与第二齿条406均与中间齿轮404啮合,水平驱动件403与第一齿条402连接,以通过驱动第一齿条402移动而带动右移动板204与左移动板201同步朝向相对夹持晶圆3或相反方向移动放下晶圆3;升降驱动件407与上移动板203连接以驱动上移动板203下降配合夹持晶圆3或上升放下晶圆3。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人麦斯克电子材料股份有限公司,其通讯地址为:471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号北侧洛阳综合保税区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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