应用材料公司洛克莎·雷迪获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于支撑基板的基板支撑组件和包括这种基板支撑组件的基板处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223468434U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202290000890.4，技术领域涉及：C23C14/04；该实用新型用于支撑基板的基板支撑组件和包括这种基板支撑组件的基板处理装置是由洛克莎·雷迪;莱内尔·欣特舒斯特;苏哈斯·博斯基;U·穆卡迪·南迦帕设计研发完成，并于2022-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于支撑基板的基板支撑组件和包括这种基板支撑组件的基板处理装置在说明书摘要公布了：根据一个实施方式，提供了一种用于支撑基板的基板支撑组件。根据另一个实施方式，提供一种包括用于支撑基板的这种基板支撑组件的基板处理装置。所述基板支撑组件包括：台主体，所述台主体具有被配置为面向所述基板的表面；台框架，所述台框架耦接到所述台主体；边缘支撑框架，所述边缘支撑框架可相对于所述台框架移动；以及一个或多个销，所述一个或多个销耦接到所述台主体或所述台框架并可相对于所述台主体移动，并且被配置为在所述基板上施加力。
本实用新型用于支撑基板的基板支撑组件和包括这种基板支撑组件的基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种用于支撑基板的基板支撑组件，其特征在于，包括： 台主体，所述台主体具有被配置为面向所述基板的表面； 台框架，所述台框架耦接到所述台主体； 边缘支撑框架，所述边缘支撑框架配置用于支撑掩模，所述边缘支撑框架可相对于所述台框架移动，用于装载或卸载所述基板； 一个或多个销，所述一个或多个销耦接到所述台主体或所述台框架并可相对于所述台主体移动，以从所述表面朝向所述边缘支撑框架突出，并且被配置为在所述基板上施加作用于所述掩模的力以具有用于倾斜的摩擦和改进的阴影效应。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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