苏州佑伦真空设备科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种溅射镀膜机的翻转机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223468438U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422994921.6,技术领域涉及:C23C14/34;该实用新型一种溅射镀膜机的翻转机构是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射镀膜机的翻转机构在说明书摘要公布了:本实用新型提出一种溅射镀膜机的翻转机构,所述翻转机构设于加热腔体与靶材开合机构的侧边,通过翻转机构使得靶材开合机构与加热腔体可翻转连接,所述靶材开合机构设于加热腔体上部,所述翻转机构包括对称设置的下部支架、翻转轴承、上部支架、翻转弹簧,所述下部支架的侧边一端与所述加热腔体的一侧固定连接,所述下部支架的上方设有翻转轴承,所述上部支架的一端设有连杆,所述连杆的两端向外突出且与所述翻转轴承可转动连接,所述上部支架的远离连杆的一端与所述靶材开合机构固定连接,通过所述翻转轴承使得所述下部支架与上部支架以翻转轴承为旋转中心可转动连接,从而使得所述靶材开合机构实现对加热腔体的打开与闭合。
本实用新型一种溅射镀膜机的翻转机构在权利要求书中公布了:1.一种溅射镀膜机的翻转机构,所述翻转机构9设于加热腔体1与靶材开合机构6的侧边,通过翻转机构9使得靶材开合机构6与加热腔体1可翻转连接,所述靶材开合机构6设于加热腔体1上部,其特征在于:所述翻转机构9包括对称设置的下部支架91、翻转轴承92、上部支架93、翻转弹簧936,所述下部支架91的侧边一端与所述加热腔体1的一侧固定连接,所述下部支架91的上方设有翻转轴承92,所述上部支架93的一端设有连杆931,所述连杆931的两端向外突出且与所述翻转轴承92可转动连接,所述上部支架93的远离连杆931的一端与所述靶材开合机构6固定连接,所述靶材开合机构6与加热腔体1侧边设有锁紧件2,当打开锁紧件2时所述翻转弹簧936失去受力向外侧打开并拉伸,带动所述上部支架93向外侧打开,所述下部支架91与上部支架93以翻转轴承92为旋转中心转动,从而使得所述靶材开合机构6实现对加热腔体1的打开与闭合。
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