苏州佑伦真空设备科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种溅射镀膜机的加热腔的磁流体水冷机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223468439U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422673677.3，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种溅射镀膜机的加热腔的磁流体水冷机构是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射镀膜机的加热腔的磁流体水冷机构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种溅射镀膜机的加热腔的磁流体水冷机构，所述溅射镀膜机包括加热腔壳体，所述加热腔壳体的底部设有连接板，所述连接板处设有通孔，所述加热腔壳体内设有旋转托盘，所述旋转托盘的底部设有第一转轴，所述第一转轴穿过通孔与电机组件通过同步带连接，所述电机组件转动，通过同步带带动所述第一转轴同步转动，所述第一转轴外套设有磁流体且所述磁流体与通孔套接，通过所述磁流体对通孔起到密封作用，所述磁流体环设有水冷机构，所述水冷机构用于对磁流体进行冷却，使得磁流体的温度控制在合适温度，保证磁流体磁性和密封性能，延长使用寿命，从而使得加热腔壳体不易泄漏真空气体或损失热量。
本实用新型一种溅射镀膜机的加热腔的磁流体水冷机构在权利要求书中公布了：1.一种溅射镀膜机的加热腔的磁流体水冷机构，所述溅射镀膜机包括加热腔壳体1，所述加热腔壳体1的底部设有连接板51，所述连接板51处设有通孔，所述加热腔壳体1内设有旋转托盘55，所述旋转托盘55的底部设有第一转轴53，所述第一转轴53穿过通孔与电机组件4通过同步带52连接，所述电机组件4转动，通过同步带52带动所述第一转轴53同步转动，其特征在于：所述第一转轴53外套设有磁流体54且所述磁流体54与通孔套接，通过所述磁流体54对通孔起到密封作用，所述磁流体54环设有水冷机构57，所述水冷机构57用于对磁流体54进行冷却，使得磁流体54的温度控制在合适温度，保证磁流体磁性和密封性能，延长使用寿命，从而使得加热腔壳体1不易泄漏真空气体或损失热量。
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