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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种溅射镀膜机的磁铁旋转机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223468441U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422994030.0，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种溅射镀膜机的磁铁旋转机构是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种溅射镀膜机的磁铁旋转机构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种溅射镀膜机的磁铁旋转机构，包括工艺腔体，工艺腔体上方设有靶材开合机构，磁铁旋转机构设于靶材开合机构内，靶材开合机构包括靶材安装板，靶材安装板的底部边缘连接靶材，靶材安装板上方设有上盖板，磁铁旋转机构穿过上盖板设置，磁铁旋转机构包括动力组件、旋转磁铁组件，动力组件置于上盖板上方，旋转磁铁组件包括磁铁固定铜盘、磁铁安装组件、多个磁铁，多个磁铁固定于磁铁安装组件上方，多个磁铁通过磁铁固定铜盘与动力组件连接，通过动力组件带动旋转磁铁组件旋转，从而使得多个磁铁产生的磁场旋转，保证磁场的均匀性和方向一致性，形成一个相对均匀的空间磁场，从而使得工艺腔体内的离子分布更均匀、镀膜更均匀。

本实用新型一种溅射镀膜机的磁铁旋转机构在权利要求书中公布了：1.一种溅射镀膜机的磁铁旋转机构，包括工艺腔体10，所述工艺腔体10上方设有靶材开合机构20，磁铁旋转机构30设于靶材开合机构20内，其特征在于：所述靶材开合机构20包括靶材安装板21，所述靶材安装板21为中空环形结构，所述靶材安装板21的底部边缘连接靶材23，所述靶材安装板21上方设有上盖板22，所述上盖板22、靶材安装板21、靶材23包围形成安装腔室，所述磁铁旋转机构30穿过上盖板22设置，所述磁铁旋转机构30包括动力组件31、旋转磁铁组件32，所述动力组件31置于所述上盖板22上方，旋转磁铁组件32置于所述安装腔室内，所述旋转磁铁组件32包括磁铁固定铜盘321、磁铁安装组件322、多个磁铁323，所述多个磁铁323固定于磁铁安装组件322上方，多个磁铁323通过磁铁固定铜盘321与所述动力组件31连接，通过动力组件31带动旋转磁铁组件32旋转，从而使得多个磁铁323产生的磁场旋转，形成一个相对均匀的空间磁场。

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