昇澜半导体(常州)有限公司马有草获国家专利权
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龙图腾网获悉昇澜半导体(常州)有限公司申请的专利电子收集装置及真空磁控溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223468442U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423029056.8，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型电子收集装置及真空磁控溅射设备是由马有草;赵玉垚;董超;黄静龙设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子收集装置及真空磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，公开了一种电子收集装置及真空磁控溅射设备。电子收集装置设置于真空镀膜设备的真空腔室内，真空腔室接地，且真空腔室内设置有靶材。电子收集装置包括收集本体和支撑组件，收集本体在竖直方向上位于靶材的上方，用于收集真空腔室内的电子，支撑组件的一端与收集本体连接，支撑组件的另一端抵接于真空腔室的底壁，用于将收集本体上收集的电子输送至真空腔室的底壁，由于真空腔室接地，收集本体上收集到的电子可通过支撑组件及真空腔室内壁持续传输至地面，进而避免真空腔室内出现电子聚集而导致异常放电的现象，从而避免产生异常放电的现象而对镀膜质量产生影响，保证了镀膜质量。
本实用新型电子收集装置及真空磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.电子收集装置，其特征在于，设置于真空镀膜设备的真空腔室内，所述真空腔室接地，且所述真空腔室内设置有靶材，所述电子收集装置包括： 收集本体1，位于所述靶材的上方，用于收集所述真空腔室内的电子； 支撑组件2，所述支撑组件2的一端与所述收集本体1连接，所述支撑组件2的另一端抵接于所述真空腔室的底壁，用于将所述收集本体1上收集的电子输送至所述真空腔室的底壁。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人昇澜半导体(常州)有限公司，其通讯地址为：213164 江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区西湖路1号众创服务中心A座四层415室24号工位；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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