常州承芯半导体有限公司汤钦宇获国家专利权
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龙图腾网获悉常州承芯半导体有限公司申请的专利金属有机源供给装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223468445U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422346316.8，技术领域涉及：C23C16/18；该实用新型金属有机源供给装置是由汤钦宇;徐鸿飞;吴旗召设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本金属有机源供给装置在说明书摘要公布了：一种金属有机源供给装置，包括：钢瓶，用于储存金属有机源；与钢瓶连接的第一管路，第一管路的一端延伸至钢瓶内，第一管路用于向钢瓶内通入载气；与钢瓶连接的第二管路，第二管路的一端延伸至钢瓶内，第二管路用于将载气携带的金属有机源从钢瓶输送至反应装置；与所述第一管路和第二管路相连接的第三管路；与第三管路相连通的第四管路，所述第四管路用于泄放第一管路和第二管路中的吹扫气体；设置于第三管路上的第一阀门，第一阀门用于控制第三管路与第四管路的连通和断开；设置于第四管路上的气体感应装置，气体感应装置用于检测第四管路内预设种类的气体的浓度。所述金属有机源供给装置的安全性能提升。
本实用新型金属有机源供给装置在权利要求书中公布了：1.一种金属有机源供给装置，其特征在于，包括： 钢瓶，所述钢瓶用于储存金属有机源； 与所述钢瓶连接的第一管路，所述第一管路的一端延伸至钢瓶内，所述第一管路用于向钢瓶内通入载气； 与所述钢瓶连接的第二管路，所述第二管路的一端延伸至钢瓶内，所述第二管路用于将载气携带的金属有机源从所述钢瓶输送至反应装置； 与所述第一管路和第二管路相连接的第三管路； 与所述第三管路相连通的第四管路，所述第四管路用于泄放第一管路和第二管路中的吹扫气体； 设置于所述第三管路上的第一阀门，所述第一阀门用于控制所述第三管路与所述第四管路的连通和断开； 设置于第四管路上的气体感应装置，所述气体感应装置用于检测所述第四管路内预设种类的气体的浓度。
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