广东先导元创精密科技有限公司宋新国获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导元创精密科技有限公司申请的专利加热装置及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223468447U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422891990.4,技术领域涉及:C23C16/46;该实用新型加热装置及镀膜设备是由宋新国;岑福达;陆楷武设计研发完成,并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热装置及镀膜设备在说明书摘要公布了:本申请公开一种加热装置,包括加热室、托盘、支撑架及对接件。托盘相对加热室活动设置,且托盘活动过程中能够途经加热室;托盘包括本体及加热件,本体用于承载基板,加热件设置于本体;支撑架及对接件均设置于加热室内,支撑架用于支撑途经加热室的托盘;对接件能够与支撑架上托盘的加热件对接。托盘输送至加热室后支撑在支撑架上,对接件与加热件对接,使得加热件对本体上的基板进行加热,随后托盘根据节拍输送至下游进行镀膜操作。由于通过设置于本体内的加热件直接对基板进行加热,可以确保加热的均匀性,从而保证基板中心区域和边缘区域的温差较小,温度均匀性较高,避免影响基板后续的镀膜效果。本申请还公开一种镀膜设备。
本实用新型加热装置及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种加热装置,其特征在于,包括: 加热室; 托盘,相对所述加热室活动设置,且所述托盘活动过程中能够途经所述加热室;所述托盘包括本体及加热件,所述本体用于承载基板,所述加热件设置于所述本体; 支撑架,设置于所述加热室内,用于支撑途经所述加热室的所述托盘;及 对接件,设置于所述加热室内,且所述对接件能够与所述支撑架上所述托盘的所述加热件对接,以使所述加热件对所述本体上的基板进行加热。
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