合肥露笑半导体材料有限公司郑建生获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥露笑半导体材料有限公司申请的专利一种碳化硅籽晶热压装备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223468477U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422877175.2，技术领域涉及：C30B29/36；该实用新型一种碳化硅籽晶热压装备是由郑建生;鲁永;陈奇;马永生;金灿明;张洪光;朱哲洲设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅籽晶热压装备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种碳化硅籽晶热压装备，包括真空腔体总成、压力输出装置、压头装置和加热支撑装置，真空腔体总成包括真空腔室、真空压力表、电阻规、加热电极、测温热电偶和机械泵，机械泵连通设置在真空腔室的底部，真空压力表和电阻规均设置在真空腔室上，加热电极和测温热电偶均穿设于真空腔室内；压力输出装置设置在真空腔室的上方且驱动端向下贯穿真空腔室的顶壁并可升降地伸入到真空腔室内；压头装置设置在真空腔室的内部上方，且上端与压力输出装置的驱动端相连；加热支撑装置设置在压头装置的下方的真空腔室的内底壁上并用于承载石墨盖。本实用新型操作便捷能实现稳定施压，减小了占地面积且降低了设备成本。
本实用新型一种碳化硅籽晶热压装备在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅籽晶热压装备，其特征在于，包括： 真空腔体总成1，包括真空腔室2、真空压力表3、电阻规35、加热电极4、测温热电偶5和机械泵6，所述机械泵6连通设置在所述真空腔室2的底部，所述真空压力表3和所述电阻规35均设置在所述真空腔室2上，所述加热电极4和所述测温热电偶5均穿设于所述真空腔室2的侧壁并伸入所述真空腔室2内，所述真空腔室2的侧面开合设置有炉门； 压力输出装置7，设置在所述真空腔室2的上方且驱动端向下贯穿所述真空腔室2的顶壁并可升降地伸入到所述真空腔室2内，所述压力输出装置7的驱动部外接控制系统34； 压头装置8，设置在所述真空腔室2的内部上方，且上端与所述压力输出装置7的驱动端相连； 加热支撑装置9，设置在所述压头装置8的下方的所述真空腔室2的内底壁上并用于承载石墨盖。
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