杭州富芯半导体有限公司王立志获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利抽真空系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223469395U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422951783.3，技术领域涉及：F04B37/14；该实用新型抽真空系统是由王立志设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本抽真空系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种抽真空系统，涉及半导体制备技术领域，该抽真空系统中，在第二管路上的第二阀门的公称直径小于在第一管路上的第一阀门的公称直径，当工作腔内的压力需要调整时，第一真空泵处于工作状态，由于第一阀门与第二阀门均可以控制抽真空流量，而第一阀门控制大流量范围的抽真空，第二阀门控制小流量范围的抽真空，两个阀门控制流量的规格不同，提高了工作腔内压力调控的范围。此外，采用第二管路与第二阀门的小流量控制工作腔内的压力，工作腔内压力波动范围相比第一管路与第二阀门控制的更加小且更加精准，可以进一步的提高工作腔内的压力稳定性。
本实用新型抽真空系统在权利要求书中公布了：1.一种抽真空系统，其特征在于，包括： 工作腔、第一管路、第一阀门、第二管路、第二阀门以及第一真空泵； 所述工作腔分别与所述第一管路的第一端以及所述第二管路的第一端连接； 所述第一真空泵的第一端分别与所述第一管路的第二端以及所述第二管路的第二端连接，所述第一真空泵用于通过所述第一管路和或所述第二管路对所述工作腔进行抽真空； 所述第一阀门位于所述第一管路上，用于调整所述第一管路的抽真空流量； 所述第二阀门位于所述第二管路上，用于调整所述第二管路的抽真空流量； 所述第二阀门的公称直径小于所述第一阀门的公称直径。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州富芯半导体有限公司，其通讯地址为：311418 浙江省杭州市富阳区灵桥镇滨富大道135号(滨富合作区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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