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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种溅射镀膜机的真空闸阀机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223469749U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422990364.0，技术领域涉及：F16K3/02；该实用新型一种溅射镀膜机的真空闸阀机构是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种溅射镀膜机的真空闸阀机构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种溅射镀膜机的真空闸阀机构，真空闸阀机构包括升降气缸、闸板、第一连接阀、第二连接阀，所述闸板的靠近加热腔体一侧设有第一连接阀，靠近真空泵水冷机构一侧设有第二连接阀，闸板的底部设有升降气缸，闸板的中空结构内设有隔板，隔板的底部与升降气缸连接，抽真空前真空闸阀机构处于关闭状态，隔板处于闸板顶部，把加热腔体和真空泵水冷机构隔开，抽真空时真空闸阀机构处于打开状态，升降气缸带动隔板下降使得第一连接阀、第二连接阀间空气连通，从而使得真空泵水冷机构与加热腔体连通，通过水冷机构对高温气体进行降温后，真空泵对降温后的气体进行抽真空操作。

本实用新型一种溅射镀膜机的真空闸阀机构在权利要求书中公布了：1.一种溅射镀膜机的真空闸阀机构，真空闸阀机构5设于真空泵水冷机构4与工艺腔体1之间，所述真空泵水冷机构4包括水冷机构43和设于水冷机构43下方的真空泵42，其特征在于：所述真空闸阀机构5包括升降气缸51、闸板52、第一连接阀54、第二连接阀55，所述闸板52的一侧设有第一连接阀54，通过所述第一连接阀54与工艺腔体1连接，闸板52的另一侧设有第二连接阀55，通过所述第二连接阀55与真空泵水冷机构4连接，闸板52的底部设有升降气缸51，所述闸板52为中空结构，所述闸板52的中空结构内设有隔板53，所述隔板53的底部与升降气缸51连接，当所述隔板53上升至所述闸板52的中空结构处时，所述真空闸阀机构5处于关闭状态，把工艺腔体1和真空泵水冷机构4隔开，当需要抽真空时，所述升降气缸51带动隔板53下降，使得闸板52、第一连接阀54、第二连接阀55的中空结构与真空泵水冷机构4和工艺腔体1连通，此时真空闸阀机构5处于打开状态，通过所述水冷机构43对高温气体进行降温后，真空泵42对降温后的气体进行抽真空操作，使得高温气体不会对真空泵42造成损伤。

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