安徽光智科技有限公司李晓宁获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利芯片镜检工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223470964U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422503915.6,技术领域涉及:G01N21/88;该实用新型芯片镜检工装是由李晓宁;杨锦涛设计研发完成,并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本芯片镜检工装在说明书摘要公布了:本申请提供了一种芯片镜检工装,涉及半导体检测技术领域。芯片镜检工装包括载物盘和旋转平台,旋转平台包括转轴和转盘,转轴的一端设置于载物盘上,转盘转动设置于转轴的另一端上,转盘上开设有芯片槽;在实际的应用中,用户可将待检芯片放置于转盘上的芯片槽中,然后拿起载物盘并将载物盘转移至镜检平台上,以便利用镜检平台对芯片槽内的待检芯片进行镜检,而在镜检的过程中,用户可控制转盘绕转轴转动,从而调整对待检芯片进行镜检时的角度。基于此,本申请可以降低镜检过程中待检芯片的摔落风险,并且可以通过控制转盘绕转轴的转动,任意地调整待检芯片的镜检角度,这使得对待检芯片的镜检更加全面,从而提高了镜检的准确度。
本实用新型芯片镜检工装在权利要求书中公布了:1.一种芯片镜检工装,其特征在于,包括载物盘和旋转平台,所述旋转平台包括转轴和转盘,所述转轴的一端设置于所述载物盘上,所述转盘转动设置于所述转轴的另一端上,所述转盘上开设有芯片槽,其中: 所述芯片槽,用于容置待检芯片; 所述载物盘,用于放置在镜检平台上; 所述转盘,用于当所述镜检平台对所述待检芯片进行镜检时,在外力作用下绕所述转轴转动,以调整对所述待检芯片进行镜检时的角度。
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