深圳市大为创芯微电子科技有限公司陈宗廷获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市大为创芯微电子科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆缺陷检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223470977U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422404625.6，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种半导体晶圆缺陷检测装置是由陈宗廷;朱放中;于铁牛设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆缺陷检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆缺陷检测技术领域，且公开了一种半导体晶圆缺陷检测装置，包括机体和固定套盒，所述机体的内底壁滑动连接有支撑座。该半导体晶圆缺陷检测装置，通过调整组件和液压杆的设置，不同的缺陷需要不同的放大倍率进行有效检测，在需要更换倍数放大镜时，启动液压杆带动转盘下行，使得检测摄像头脱离现有的倍数放大镜，进而启动输出电机，带动转动齿轮转动，进而带动液压杆上的齿轮圈转动，当另一组倍数放大镜到达检测摄像头底部时，液压杆上行，使得检测摄像头插入倍数放大镜内，从而达到自动更换不同倍数放大镜的效果，减少人员调整安装的工作量，提高了半导体晶圆缺陷检测装置的效率。
本实用新型一种半导体晶圆缺陷检测装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆缺陷检测装置，包括机体1和固定套盒11，其特征在于：所述机体1的内底壁滑动连接有支撑座2，所述支撑座2的顶部固定连接有放置盘3，所述放置盘3的底部固定连接有负压环4，所述负压环4的底部连通有负压组件5，所述放置盘3的内部滑动连接有升举组件6，所述固定套盒11的内部转动连接有液压杆13，所述液压杆13的表面套接有调整组件16， 所述负压组件5包括连通于负压环4底部的连接管501，所述连接管501的一端连通有负压泵502； 所述升举组件6包括滑动连接于放置盘3内部的四组支撑杆601，所述支撑杆601的底部固定连接有固定盘602，所述固定盘602的底部固定连接有液压柱603； 所述调整组件16包括套接于液压杆13表面的齿轮圈1601，所述齿轮圈1601的表面啮合有转动齿轮1602，所述转动齿轮1602的底部固定连接有输出电机1603。
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