南京科利德光电材料有限公司王小光获国家专利权
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龙图腾网获悉南京科利德光电材料有限公司申请的专利一种圆形材料的光刻定位装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223471239U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423135404.X,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种圆形材料的光刻定位装置是由王小光设计研发完成,并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种圆形材料的光刻定位装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种圆形材料的光刻定位装置,属于光刻加工技术领域。包括:角块具有互相垂直的横板和纵板;横板和纵板之间为定位区;横滑杆可拆卸安装在横板上且与横板平行;纵向定位杆与横滑杆垂直布置;纵向定位杆外端滑动安装在横滑杆上,纵向定位杆内端延伸至定位区;纵滑杆可拆卸安装在纵板上且与纵板平行;横向定位杆与纵滑杆垂直布置;横向定位杆外端滑动安装在纵滑杆上,横向定位杆内端延伸至定位区。本实用新型通过纵向定位杆和横向定位杆,实现了对圆形材料在X和Y方向上的精确定位,减少了因位置偏差导致的后续微调时间;横板表面开设有多对定位孔,横滑杆和纵滑杆上均开设有尺标,便于根据圆形材料的尺寸进行调整。
本实用新型一种圆形材料的光刻定位装置在权利要求书中公布了:1.一种圆形材料的光刻定位装置,其特征在于,包括: 角块1,具有互相垂直的横板11和纵板12;所述横板11和纵板12之间为定位区; 横滑杆21,可拆卸安装在所述横板11上且与横板11平行; 纵向定位杆31,与所述横滑杆21垂直布置;所述纵向定位杆31外端滑动安装在所述横滑杆21上,纵向定位杆31内端延伸至定位区; 纵滑杆22,可拆卸安装在所述纵板12上且与纵板12平行; 横向定位杆32,与所述纵滑杆22垂直布置;所述横向定位杆32外端滑动安装在所述纵滑杆22上,横向定位杆32内端延伸至定位区。
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