山东万斯电子科技有限公司郭金柱获国家专利权
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龙图腾网获悉山东万斯电子科技有限公司申请的专利一种等离子刻蚀设备的基片定位升降装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223471564U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421910729.8，技术领域涉及：H01J37/20；该实用新型一种等离子刻蚀设备的基片定位升降装置是由郭金柱;康永鹏;张绪文设计研发完成，并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子刻蚀设备的基片定位升降装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种等离子刻蚀设备的基片定位升降装置，包括底座，还包括在底座上设置的推送定位机构和连接压持机构；所述推送定位机构包括支撑架和托板，所述支撑架设于底座上，所述支撑架设有多组，所述托板设于多组所述支撑架上，所述托板上设有活动槽，所述托板的底壁上设有电动推杆，所述电动推杆的末端连接有伸展组件。本实用新型属于刻蚀设备技术领域，具体是指一种等离子刻蚀设备的基片定位升降装置。
本实用新型一种等离子刻蚀设备的基片定位升降装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子刻蚀设备的基片定位升降装置，包括底座，其特征在于：还包括在底座上设置的推送定位机构和连接压持机构；所述推送定位机构包括支撑架和托板，所述支撑架设于底座上，所述支撑架设有多组，所述托板设于多组所述支撑架上，所述托板上设有活动槽，所述托板的底壁上设有电动推杆，所述电动推杆的末端连接有伸展组件；所述伸展组件包括铰接板和推板，所述铰接板设于支撑架的侧壁上，所述铰接板上转动设有齿轮，所述齿轮上连接有拨杆，所述拨杆活动贯穿活动槽设置，所述推板设于电动推杆的末端，所述推板上设有安装板，所述安装板上设有齿条，所述齿条与齿轮啮合；所述连接压持机构包括固定板和压板，所述固定板设于多组支撑架之间，所述固定板与底座之间转动设有丝杆，所述丝杆上螺纹连接有升降板，所述升降板在多组所述支撑架上滑动设置，所述升降板上设有连接杆，所述连接杆活动贯穿托板设置，所述连接杆设有多组，所述压板设于多组所述连接杆的顶端。
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