东莞市芯源集成电路科技发展有限公司;东莞恒格微电子有限公司李志强获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市芯源集成电路科技发展有限公司;东莞恒格微电子有限公司申请的专利一种等离子刻蚀机屏蔽罩加热结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223471568U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423027305.X，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种等离子刻蚀机屏蔽罩加热结构是由李志强;赵义党;廖文晗;许辉;杨晓波;陈雷霆设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子刻蚀机屏蔽罩加热结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及等离子刻蚀机领域，尤其涉及一种等离子刻蚀机屏蔽罩加热结构，其包括底盘和罩体，底盘上设置有若干竖直向上的加热棒，罩体侧壁内侧设置有若干竖直向下联通至罩体底面的导热孔；罩体与底盘可拆卸式固定连接，加热棒相对的两侧均设置弹性导热件后对位穿入导热孔，以确保加热棒与导热孔内壁紧密贴合。本结构将加热棒内置于罩体内，并且加热棒相对两侧均设置导热弹性件，可以使得加热棒很好的与导热孔内壁贴合，既能确保加热时的安全性，又能实现对屏蔽罩温度的高效控制。
本实用新型一种等离子刻蚀机屏蔽罩加热结构在权利要求书中公布了：1.一种等离子刻蚀机屏蔽罩加热结构，其特征在于，包括底盘100和罩体101，所述底盘100上设置有若干竖直向上的加热棒102，所述罩体101侧壁内设置有若干竖直向下联通至所述罩体101底面的导热孔103；所述罩体101与所述底盘100可拆卸式固定连接，所述加热棒102相对的两侧均设置弹性导热件104后对位穿入所述导热孔103，以确保所述加热棒102与所述导热孔103内壁紧密贴合。
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