杭州富芯半导体有限公司乔鹏获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利湿法刻蚀装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223471577U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422943659.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型湿法刻蚀装置是由乔鹏设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本湿法刻蚀装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种湿法刻蚀装置，涉及半导体制造技术领域，在该湿法刻蚀装置中的刻蚀腔中具有承载装置，在该承载装置上设置有多个在第一方向上排布的夹持槽，晶圆放置在夹持槽中，每一个夹持槽的底部设置有第一通孔。第一通孔用于通入气体从而让晶圆在刻蚀溶液中悬浮，当晶圆悬浮起来后，会与旋转装置上的旋转轴接触，从而让晶圆旋转。晶圆在刻蚀溶液中悬浮起来可以让旋转更容易，而旋转的晶圆可以在刻蚀溶液中更均匀地刻蚀，避免了刻蚀不均，提高了产品的质量。
本实用新型湿法刻蚀装置在权利要求书中公布了：1.一种湿法刻蚀装置，其特征在于，包括： 刻蚀腔，用于盛放刻蚀溶液； 承载装置，位于所述刻蚀腔内；所述承载装置包括多个在第一方向上依次间隔排布的夹持槽，所述夹持槽位于所述承载装置背离所述刻蚀腔的底面的一侧，用于放置晶圆；所述第一方向平行于所述刻蚀腔的底面，所述夹持槽的底部具有第一通孔，所述第一通孔用于通入气体以使得所述晶圆悬浮； 旋转装置，所述旋转装置包括旋转轴，所述旋转轴沿所述第一方向延伸，且与所述晶圆所在平面垂直，用于旋转所述晶圆。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州富芯半导体有限公司，其通讯地址为：311418 浙江省杭州市富阳区灵桥镇滨富大道135号(滨富合作区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励