常州科隆威智能技术有限公司苏金财获国家专利权
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龙图腾网获悉常州科隆威智能技术有限公司申请的专利一种用于硅片运输的转盘机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223471586U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422350605.5,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种用于硅片运输的转盘机构是由苏金财;陈春芙设计研发完成,并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于硅片运输的转盘机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于硅片运输的转盘机构,包括固定机架,所述固定机架顶部安装有旋转平台,旋转平台底部连接有驱动马达,旋转平台上方的输出端安装有旋转连接板,旋转连接板顶部对应旋转平台输出端的位置设置有气滑环组件,气滑环组件上设置有电磁阀组件,电磁阀组件通过气动元件面板固定在气滑环组件顶部的支撑杆上,旋转连接板两端对称安装有双吸盘组件。本实用新型采用非接触式伯努利吸盘避免在硅片表面产生吸盘痕迹,旋转平台侧面的光电开关在转运硅片的过程中提供定位,保证硅片运输的重复定位精度。
本实用新型一种用于硅片运输的转盘机构在权利要求书中公布了:1.一种用于硅片运输的转盘机构,包括固定机架1,其特征在于,所述固定机架1顶部安装有旋转平台2,旋转平台2底部连接有驱动马达3,旋转平台2上方的输出端安装有旋转连接板4,旋转连接板4顶部对应旋转平台2输出端的位置设置有气滑环组件5,气滑环组件5上设置有电磁阀组件6,电磁阀组件6通过气动元件面板61固定在气滑环组件5顶部的支撑杆54上,旋转连接板4两端对称安装有双吸盘组件9。
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