深圳市中光工业技术研究院丁新琪获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉深圳市中光工业技术研究院申请的专利用于背面光刻工艺的对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112838072B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911154536.8，技术领域涉及：H01L23/544；该发明授权用于背面光刻工艺的对准方法是由丁新琪;艾佳瑞;焦旺;郑兆祯设计研发完成，并于2019-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于背面光刻工艺的对准方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种用于晶圆背面光刻工艺的对准方法，该对准方法包括：对晶圆进行切割，并将切割所形成的至少两条棱边作为第一对准标识；将晶圆的正面与垫片粘合，形成复合晶圆；将第一对准标识与光罩上相应的第二对准标识进行对准以用于背面光刻。该方法不仅不受晶圆厚度及材料的限制，且降低了光刻设备的二次投入；同时能够减少光刻过程中薄晶圆出现碎片的概率，有效提高了产品的合格率。
本发明授权用于背面光刻工艺的对准方法在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆背面光刻工艺的对准方法，其特征在于，包括： 对晶圆进行切割，并将切割所形成的至少两条棱边作为第一对准标识； 将所述晶圆的正面与垫片粘合，形成复合晶圆； 将所述复合晶圆上的所述第一对准标识与光罩上相应的第二对准标识进行对准以用于背面光刻； 所述对晶圆进行切割，并将切割所形成的至少两条棱边作为第一对准标识，具体包括： 提供晶圆； 在所述晶圆刻有图形的一侧表面设置至少两条预设切割线； 沿着所述预设切割线进行切割，并将切割所形成的至少两条棱边作为第一对准标识； 所述在所述晶圆刻有图形的一侧表面设置至少两条预设切割线，具体包括： 获取若干距离参考值，所述距离参考值为所述光罩上图形的第一预设位置至所述第二对准标识的垂直距离值； 以第二预设位置为起点，根据若干所述距离参考值确定所述晶圆上的若干切割点，然后连接若干所述切割点以形成至少两条预设切割线；其中，所述第二预设位置为所述晶圆上的图形与所述第一预设位置相对应的位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市中光工业技术研究院，其通讯地址为：518052 广东省深圳市南山区学府路63号高新区联合总部大厦23楼、24楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励