TOTO株式会社佐藤真树获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉TOTO株式会社申请的专利静电吸盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113994462B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080036383.1，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电吸盘是由佐藤真树;板仓郁夫;西愿修一郎;白石纯;籾山大;小林幸太设计研发完成，并于2020-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电吸盘在说明书摘要公布了：本发明提供一种静电吸盘，具备：导电性的基座板，具有第1部分和设置在所述第1部分的外周的第2部分，设置有导入冷却气体的气体导入路；第1静电吸盘部，设置在所述第1部分上，构成为可吸附晶片，具备具有连通于所述气体导入路的至少一个穿通孔的陶瓷电介体基板和内置于所述陶瓷电介体基板的第1吸附电极；及第2静电吸盘部，设置在所述第2部分上，构成为可吸附聚焦环，具备具有可导入冷却气体的至少一个穿通孔的陶瓷层，所述陶瓷层至少具有当所述聚焦环吸附于所述第2静电吸盘部时接触所述聚焦环的第1层，所述第1层的致密度构成为小于所述陶瓷电介体基板的致密度。由此，提供一种可提高设备的成品率的静电吸盘。
本发明授权静电吸盘在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘，具备： 导电性的基座板，具有第1部分和设置在所述第1部分的外周的第2部分，设置有导入冷却气体的气体导入路； 第1静电吸盘部，设置在所述第1部分上，构成为可吸附晶片，具备具有连通于所述气体导入路的至少一个穿通孔的陶瓷电介体基板和内置于所述陶瓷电介体基板的第1吸附电极； 及第2静电吸盘部，设置在所述第2部分上，构成为可吸附聚焦环，具备具有可导入冷却气体的至少一个穿通孔的陶瓷层，其特征为， 所述陶瓷层至少具有当所述聚焦环吸附于所述第2静电吸盘部时接触所述聚焦环的第1层以及设置在所述第2部分与所述第1层之间的第2层，所述第1层的致密度构成为小于所述陶瓷电介体基板的致密度， 所述第1层具有：所述聚焦环侧的第1上面；及所述第1上面的相反侧的第1下面， 所述第2层具有：所述第1层侧的第2上面；及所述第2上面的相反侧的第2下面， 所述第1上面的表面粗糙度小于所述第2下面的表面粗糙度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人TOTO株式会社，其通讯地址为：日本福冈县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励