应用材料公司K·N·伍兹获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利使用氟及金属卤化物来蚀刻金属氧化物获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114008750B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080043058.8，技术领域涉及：H01L21/311；该发明授权使用氟及金属卤化物来蚀刻金属氧化物是由K·N·伍兹;Z·崔;M·萨利设计研发完成，并于2020-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用氟及金属卤化物来蚀刻金属氧化物在说明书摘要公布了：本公开内容的实施例提供用于蚀刻氧化物材料的多种方法。本公开内容的一些实施例提供优先于其他材料而选择性蚀刻氧化物材料的方法。在一些实施例中，本公开内容的方法是通过原子层蚀刻ALE执行。在一些实施例中，本公开内容的方法是在包括镍腔室材料的处理腔室内执行。
本发明授权使用氟及金属卤化物来蚀刻金属氧化物在权利要求书中公布了：1.一种蚀刻工艺，包括： 将基板表面暴露于氟化剂以形成氟化物层，所述基板表面上具有氧化物层；以及 将所述氟化物层暴露于卤化物蚀刻剂以移除所述氟化物层，所述卤化物蚀刻剂包括化合物，所述化合物具有通式MXy，其中M包括钛Ti、锡Sn、钼Mo、钨W或铌Nb中的一者或多者，且X包括Cl、Br或I中的一者或多者。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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