保定乐凯新材料股份有限公司;四川乐凯新材料有限公司邹应全获国家专利权
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龙图腾网获悉保定乐凯新材料股份有限公司;四川乐凯新材料有限公司申请的专利一种用于LDI干膜的阳离子自由基聚合组合物及LDI干膜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114153122B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111117655.3,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权一种用于LDI干膜的阳离子自由基聚合组合物及LDI干膜是由邹应全;辛阳阳;丁艳花;刘明珂;颜鹏;赵凤娇设计研发完成,并于2021-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于LDI干膜的阳离子自由基聚合组合物及LDI干膜在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于制备LDI干膜的阳离子自由基聚合组合物及LDI干膜。根据本发明的用于制备LDI干膜的阳离子自由基聚合组合物,碱溶性聚合物、自由基聚合性化合物和引发剂;其中,碱溶性聚合物的侧链具有氧杂环丁烷基团,且引发剂包括阳离子引发剂和自由基引发剂。通过激光对含有本发明阳离子自由基聚合组合物的LDI干膜直接曝光,由于碱溶性聚合物侧链具有的氧杂环丁烷基团和阳离子引发剂配合发生了交联反应,在碱溶性聚合物链内部及聚合物链之间形成了网状结构,提高了LDI干膜的硬度和粘结强度,进而提高了LDI干膜的感光度、解析度、密合性和盖孔率,且改善了抗蚀剂形状。
本发明授权一种用于LDI干膜的阳离子自由基聚合组合物及LDI干膜在权利要求书中公布了:1.一种用于制备LDI干膜的阳离子自由基聚合组合物,其特征在于,包括: 碱溶性聚合物,包括聚丙烯酸类单元的聚合单体或聚丙烯酸烷基酯类单元的聚合单体; 自由基聚合性化合物; 引发剂;其中, 所述碱溶性聚合物的侧链具有氧杂环丁烷基团;且所述引发剂包括阳离子引发剂和自由基引发剂;含氧杂环丁烷基团的聚合单元在碱溶性聚合物中占以质量百分比计的1~65%;构成所述含氧杂环丁烷基团的聚合单元的聚合单体如式I和或式II所示: ; n为1~3的自然数; 聚丙烯酸类单元的聚合单体选自下述中的至少一种:丙烯酸、甲基丙烯酸、富马酸、肉桂酸、巴豆酸、衣康酸、马来酸酐和马来酸半酯; 聚丙烯酸烷基酯类单元的聚合单体选自下述中的至少一种:丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯。
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