铠侠股份有限公司吉川绫司获国家专利权
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龙图腾网获悉铠侠股份有限公司申请的专利电子束装置及图像获取方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114167683B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110839188.9，技术领域涉及：G03F7/00；该发明授权电子束装置及图像获取方法是由吉川绫司设计研发完成，并于2021-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子束装置及图像获取方法在说明书摘要公布了：实施方式所涉及的电子束装置包括：支承部，其支承试样；电极，其配置在被所述支承部支承的所述试样的下方，能够对所述试样施加电压，所述电极包括能够独立地设定电压的多个柱状电极；以及控制部，其能够基于表示所述试样的结构的结构信息生成用于校正在所述试样产生的电场分布的校正数据，基于所述校正数据控制所述多个柱状电极。
本发明授权电子束装置及图像获取方法在权利要求书中公布了：1.一种电子束装置，其通过对试样照射电子束，能够获取所述试样的图像，所述电子束装置包括： 支承部，其支承所述试样； 电极，其配置在被所述支承部支承的所述试样的下方，能够对所述试样施加电压，所述电极包括能够独立地设定电压的多个柱状电极；以及 控制部，其能够基于表示所述试样的结构的结构信息，生成用于校正在所述试样产生的电场分布的校正数据，基于所述校正数据控制所述多个柱状电极。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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