细美事有限公司严基象获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利清洁夹具、包括清洁夹具的基板处理设备、基板处理设备的清洁方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114171430B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111055459.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权清洁夹具、包括清洁夹具的基板处理设备、基板处理设备的清洁方法是由严基象;吴昌石;卢尚垠设计研发完成，并于2021-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洁夹具、包括清洁夹具的基板处理设备、基板处理设备的清洁方法在说明书摘要公布了：本发明实施方式涉及一种基板处理设备，并且可以包括一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：可旋转的旋转头；杯子，其围绕所述旋转头；清洁夹具，其位于所述旋转头上，并通过所述旋转头的旋转朝向所述杯子排放清洁液；以及喷嘴单元，其位于所述清洁夹具的上部部分处，并将所述清洁液供应到所述清洁夹具的上表面的中心，并且所述清洁夹具包括飞溅导向槽，所述飞溅导向槽被形成为凹陷的，以使得从所述喷嘴单元提供的所述清洁液利用由于所述旋转头的旋转引起的离心力朝向所述杯子飞溅。
本发明授权清洁夹具、包括清洁夹具的基板处理设备、基板处理设备的清洁方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，包括： 可旋转的旋转头； 杯子，其被配置成围绕所述旋转头； 清洁夹具，其位于所述旋转头上，并且被配置成通过所述旋转头的旋转朝向所述杯子排放清洁液；以及 喷嘴单元，其位于所述清洁夹具的上部部分，并且被配置成将所述清洁液供应到所述清洁夹具的上表面的中心， 其中所述清洁夹具包括： 飞溅导向槽，其被形成为凹陷的，以使得从所述喷嘴单元提供的所述清洁液利用由于所述旋转头的旋转引起的离心力朝所述杯子飞溅, 其中，所述飞溅导向槽中的每个飞溅导向槽被配置成使得：所述飞溅导向槽面对所述清洁夹具外部的第一底表面相对于所述飞溅导向槽的底表面的底部点的倾斜度比所述飞溅导向槽面对所述清洁夹具内部的第二底表面的倾斜度平缓，所述底部点的高度是最低的。
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