住友重机械离子科技株式会社二宫亚纪获国家专利权
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龙图腾网获悉住友重机械离子科技株式会社申请的专利离子注入装置及微粒检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114256044B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110941446.4，技术领域涉及：H01J37/244；该发明授权离子注入装置及微粒检测方法是由二宫亚纪;八木田贵典;森田刚夫;广濑沙由美设计研发完成，并于2021-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子注入装置及微粒检测方法在说明书摘要公布了：一种离子注入装置及微粒检测方法，提高与离子束一起输送的微粒的检测精度。离子注入装置10具备：射束线装置14，输送离子束；注入处理室16，进行向晶圆W照射离子束的注入处理；照明装置64，在射束线装置14内及注入处理室16内的至少一者中，向与离子束的输送方向交叉的方向照射照明光L；摄像装置66，对照明光L通过的空间进行拍摄而生成摄像图像；及控制装置60，根据摄像图像检测使照明光L散射的微粒。
本发明授权离子注入装置及微粒检测方法在权利要求书中公布了：1.一种离子注入装置，其特征在于，具备： 射束线装置，输送离子束； 注入处理室，进行向晶圆照射所述离子束的注入处理； 照明装置，在所述射束线装置内及所述注入处理室内的至少一者中，向与所述离子束的输送方向交叉的方向照射照明光； 摄像装置，生成对所述照明光通过的空间进行拍摄而得的摄像图像；及 控制装置，根据所述摄像图像检测使所述照明光散射的微粒， 所述照明光以与所述离子束交叉的方式呈片状或箱体状照射， 所述摄像装置的视场角包含所述离子束与所述照明光交叉的整个空间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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