细美事有限公司尹奎相获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114267608B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111086478.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置是由尹奎相;刘载贤设计研发完成，并于2021-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置。在一个示例中，基板处理装置包括：壳体，其内部具有用于处理基板的处理空间，并且该壳体具有用于使基板进出的出入口；支撑单元，其位于处理空间内并支撑基板；挡板构件，其具有用于打开和关闭出入口的门；以及加热器，其用于加热门，加热器以与门相邻的方式设置在处理空间内，并且挡板构件还包括：驱动器，其使门在门关闭出入口时的关闭位置与门打开出入口时的打开位置之间移动。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括： 壳体，其内部具有用于处理基板的处理空间，并且所述壳体具有用于使所述基板进出的出入口； 支撑单元，其位于所述处理空间内并支撑所述基板； 挡板构件，其具有用于打开和关闭所述出入口的门；以及 加热器，其用于加热所述门， 其中，所述加热器以与所述门相邻的方式设置在所述处理空间内，并且 所述挡板构件还包括： 驱动器，其使所述门在所述门关闭所述出入口时的关闭位置与所述门打开所述出入口时的打开位置之间移动；以及 作为所述门的旋转中心的旋转轴， 其中，所述驱动器使所述门围绕所述旋转轴旋转，并且 所述加热器设置在所述旋转轴中。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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