山田尖端科技株式会社安藤修治获国家专利权
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龙图腾网获悉山田尖端科技株式会社申请的专利树脂密封装置及树脂密封方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114388369B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110942006.0,技术领域涉及:H01L21/56;该发明授权树脂密封装置及树脂密封方法是由安藤修治;柳泽诚;西泽哲也;铃木和広;涌井正明;伊藤幸雄设计研发完成,并于2021-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本树脂密封装置及树脂密封方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种树脂密封装置、树脂供给搬送夹具及树脂密封方法。树脂密封装置包括:外框夹具3,具有第一贯通孔3b且以覆盖所述第一贯通孔3b的下方的方式吸附保持单片膜2d;内框夹具4,具有第二贯通孔4b且安装于外框夹具3的第一贯通孔3b的内周面;树脂供给部D,在安装于外框夹具3的内框夹具4的内侧向单片膜2d上供给颗粒树脂R;第一移载机构9,从外框夹具3的内侧装卸内框夹具4;以及搬送机构7,保持卸下了内框夹具4的外框夹具3,将单片膜2d上的颗粒树脂R从树脂供给部D向密封模具2搬送。
本发明授权树脂密封装置及树脂密封方法在权利要求书中公布了:1.一种树脂密封装置,其将搭载有颗粒树脂的单片膜及工件搬送至密封模具,并在规定的成形温度下加热加压来进行树脂密封,所述树脂密封装置的特征在于,包括: 外框夹具,具有第一贯通孔且以覆盖所述第一贯通孔的下方的方式吸附保持单片膜; 内框夹具,具有第二贯通孔且安装于所述外框夹具的第一贯通孔的内周面; 树脂供给部,在安装于所述外框夹具的所述内框夹具的第二贯通孔内向单片膜上供给颗粒树脂; 第一移载机构,在所述外框夹具的第一贯通孔内装卸所述内框夹具;以及 搬送机构,保持卸下了所述内框夹具的所述外框夹具,将供给至单片膜上的颗粒树脂从所述树脂供给部向所述密封模具搬送。
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