ASML荷兰有限公司曹宇获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利在制造过程中引导过程模型和检查的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114578661B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210274608.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权在制造过程中引导过程模型和检查的方法是由曹宇;邹毅;林晨希设计研发完成，并于2017-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本在制造过程中引导过程模型和检查的方法在说明书摘要公布了：一种用于诸如减少校准时间、改进模型的精确度以及改进整个制造过程的各种目的的方法，其中通过两个不同的过程模型模拟图像的特性的偏差或通过过程模型模拟且通过量测工具测量所述特性的偏差。
本发明授权在制造过程中引导过程模型和检查的方法在权利要求书中公布了：1.一种在制造过程中引导过程模型和检查的方法，所述方法包括： 在衬底上的一组部位中的每一个处，使用第一过程模型且使用第二过程模型来模拟在衬底上产生的图像的第一特性； 在所述一组部位中的每一个处确定使用所述第一过程模型来模拟的第一特性与使用所述第二过程模型来模拟的第一特性之间的偏差； 基于所述偏差从所述一组部位选择部位的子组； 使用来自部位的所述子组的数据调整所述第一过程模型、使用所述数据来构造第三过程模型、使用所述数据来调整形成所述图像的过程的条件，和或检查基于部位的所述子组来确定的所述衬底上的部位的一个群组处的缺陷, 其中所述图像包括空间图像、抗蚀剂的图像以及所蚀刻的图像中的至少一种。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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