默克专利股份有限公司刘卫宏获国家专利权
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龙图腾网获悉默克专利股份有限公司申请的专利含碱可溶的丙烯酸类树脂的重氮萘醌(DNQ)型光刻胶组合物获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114730131B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080078117.5,技术领域涉及:G03F7/022;该发明授权含碱可溶的丙烯酸类树脂的重氮萘醌(DNQ)型光刻胶组合物是由刘卫宏;卢炳宏;陈春伟;M·A·图奇设计研发完成,并于2020-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本含碱可溶的丙烯酸类树脂的重氮萘醌(DNQ)型光刻胶组合物在说明书摘要公布了:本文描述了一种组合物,其包含:包含选自具有结构1、2、3、4、5、6和7的重复单元的丙烯酸类聚合物,其中这些重复单元在所述丙烯酸类聚合物中以如本文所述的摩尔%范围存在;具有在0.26NTMAH水溶液中至少为50秒的溶解速率的酚醛清漆树脂;重氮萘醌DNQ光活性化合物PAC;和有机旋转流延溶剂,以及使用所述组合物作为可在水基中显影的正型光刻胶的方法。
本发明授权含碱可溶的丙烯酸类树脂的重氮萘醌(DNQ)型光刻胶组合物在权利要求书中公布了:1.包含组分a、b、c和d的组合物;其中 组分a为丙烯酸类聚合物, 所述丙烯酸类聚合物为其重复单元为具有结构1、3、4和5的重复单元的丙烯酸类聚合物; 所述丙烯酸类聚合物为其重复单元为具有结构1、3、5和7的重复单元的丙烯酸类聚合物;或 所述丙烯酸类聚合物为其重复单元为具有结构1、2、5和6的重复单元的丙烯酸类聚合物; 其中这些重复单元以以下基于存在的所有不同重复单元的总摩尔数计的摩尔%范围存在于所述丙烯酸类聚合物中,且此外其中存在于所述聚合物中的所有重复单元的各个摩尔%值的总和必须等于100摩尔%, 结构1的重复单元在10摩尔%至35摩尔%范围内, 结构2的重复单元在0摩尔%至20摩尔%范围内, 结构3的重复单元在0摩尔%至55摩尔%范围内, 结构4的重复单元在0摩尔%至30摩尔%范围内, 结构5的重复单元在15摩尔%至55摩尔%范围内, 结构6的重复单元在0摩尔%至40摩尔%范围内, 结构7的重复单元在0摩尔%至25摩尔%范围内, R1、R2、R3、R4、R5、R6和R7分别选自H或C-1至C-4烷基, R8和R9分别选自H、C-1至C-4烷基和C-1至C-4烷氧基烷基, R10为C-3至C-8环状烷基或C-7至C-14脂环族烷基, R11为C-2至C-8羟基亚烷基基团, R12为酸可裂解基团, R13为C-3至C-12烷氧基亚烷基基团,和 其中所述丙烯酸类聚合物具有在0.26N氢氧化四甲基铵TMAH水溶液中至少秒且小于秒的溶解速率, 组分b为具有在0.26NTMAH水溶液中至少秒的溶解速率的酚醛清漆树脂; 组分c为重氮萘醌DNQ光活性化合物PAC;和 组分d为有机旋转流延溶剂,和 在所述组合物中,所述丙烯酸类聚合物占0.5重量%固体至70重量%固体,和 所述DNQPAC占5重量%固体至20重量%固体,并且 此外其中所述组合物的经涂布的膜具有在0.26NTMAH水溶液中小于秒的暗侵蚀。
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