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龙图腾网获悉精工爱普生株式会社申请的专利振动元件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114978079B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210161338.X，技术领域涉及：H03H3/02；该发明授权振动元件的制造方法是由坂田日和;小林琢郎;西泽龙太;白石茂;山口启一设计研发完成，并于2022-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本振动元件的制造方法在说明书摘要公布了：振动元件的制造方法。提供能够抑制槽深度的偏差的振动元件的制造方法。振动元件的制造方法包括：第1保护膜形成工序，在石英基板的第1面形成第1保护膜；第1干蚀刻工序，隔着第1保护膜从第1面侧对石英基板进行干蚀刻并在第1面形成第1槽和第1振动臂以及第2振动臂的外形；第2保护膜形成工序，在石英基板的第2面形成第2保护膜；以及第2干蚀刻工序，隔着第2保护膜从第2面侧对石英基板进行干蚀刻，在第2面形成第2槽和第1振动臂以及第2振动臂的外形，在设第1、第2干蚀刻工序中形成的第1、第2槽的深度为Wa、第1、第2干蚀刻工序中形成的外形的深度为Aa时，在第1、第2干蚀刻工序中的至少一个工序中满足WaAa1。

本发明授权振动元件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种振动元件的制造方法，其特征在于， 所述振动元件具有：基部；以及第1振动臂和第2振动臂，它们从所述基部沿着第1方向延伸，沿着与所述第1方向交叉的第2方向排列， 所述第1振动臂和所述第2振动臂分别具有：在与所述第1方向以及所述第2方向交叉的第3方向上排列配置并处于正反关系的第1面和第2面；在所述第1面开口的带底的第1槽；以及在所述第2面开口的带底的第2槽， 所述制造方法包括： 准备工序，准备具有所述第1面和所述第2面的石英基板； 第1保护膜形成工序，在所述石英基板的所述第1面上，除了形成所述第1槽的第1槽形成区域、以及位于形成所述第1振动臂的第1振动臂形成区域与形成所述第2振动臂的第2振动臂形成区域之间的臂间区域之外，形成第1保护膜； 第1干蚀刻工序，隔着所述第1保护膜从所述第1面侧对所述石英基板进行干蚀刻，在所述第1面形成所述第1槽和所述第1振动臂以及所述第2振动臂的外形； 第2保护膜形成工序，在所述石英基板的所述第2面上，除了形成所述第2槽的第2槽形成区域和所述臂间区域之外，形成第2保护膜；以及 第2干蚀刻工序，隔着所述第2保护膜从所述第2面侧对所述石英基板进行干蚀刻，在所述第2面形成所述第2槽和所述第1振动臂以及所述第2振动臂的外形， 在设所述第1干蚀刻工序中形成的所述第1槽的深度以及所述第2干蚀刻工序中形成的所述第2槽的深度分别为Wa、设所述第1干蚀刻工序中形成的所述外形的深度和所述第2干蚀刻工序中形成的所述外形的深度分别为Aa时， 在所述第1干蚀刻工序和所述第2干蚀刻工序中的至少一个工序中，满足WaAa1， 在设所述第1槽和所述第2槽的沿着所述第2方向的方向的宽度为W、所述臂间区域的沿着所述第2方向的方向的宽度为A、设WA=x、WaAa=y时， 满足下式： 。

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