川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)有限公司吉田雅也获国家专利权
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龙图腾网获悉川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)有限公司申请的专利基板搬运装置以及基板位置偏移测定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115039214B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080095175.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权基板搬运装置以及基板位置偏移测定方法是由吉田雅也;阿维什·阿肖克·巴尔瓦尼;曾铭;西蒙·杰亚普兰;中原一设计研发完成，并于2020-10-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板搬运装置以及基板位置偏移测定方法在说明书摘要公布了：本发明的基板搬运装置1具备：机器人10，其具备保持基板W的手12、和使手12移动的臂11；机器人控制装置15，其设定手12的移动路径T，并控制臂11以使得手12在移动路径T上朝向目标位置Py移动；以及照相机6，其配置成能够对位于规定的确认位置Px的手12所保持的基板W进行拍摄，机器人控制装置15以通过确认位置Px的方式设定移动路径T，取得在手12位于确认位置Px时照相机6所拍摄到的图像G，计算图像G中拍到的基板W与规定的环境的距离，并基于距离来计算基板W的从基准位置S起的位置偏移量L。
本发明授权基板搬运装置以及基板位置偏移测定方法在权利要求书中公布了：1.一种基板搬运装置，其中，具备： 机器人，其具备保持基板的手、和使所述手移动的臂； 机器人控制装置，其设定所述手的移动路径，并控制所述臂以使得所述手在所述移动路径上朝向目标位置移动；以及 照相机，其配置成能够对位于规定的确认位置的所述手所保持的基板进行拍摄， 所述机器人控制装置以通过所述确认位置的方式设定所述移动路径，取得在所述手位于所述确认位置时所述照相机所拍摄到的图像，计算所述图像中拍到的所述基板与规定的环境的距离，并基于所述距离来计算所述基板的从基准位置起的位置偏移量， 所述环境是供在所述移动路径上移动的所述基板通过的基板处理设备的闸门的开口周缘。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)有限公司，其通讯地址为：日本兵库县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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