长鑫存储技术有限公司蔡孟勳获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利晶圆工作台平整度的监测方法、装置、系统及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115235409B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110443221.6，技术领域涉及：G01B21/30；该发明授权晶圆工作台平整度的监测方法、装置、系统及存储介质是由蔡孟勳设计研发完成，并于2021-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆工作台平整度的监测方法、装置、系统及存储介质在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆工作台平整度的监测方法、装置、系统及存储介质，包括：实时获取晶圆的良率及原始焦距数据；基于原始焦距数据得到晶圆工作台的边缘平整度曲线；基于晶圆的良率得到晶圆的良率曲线；基于边缘平整度曲线和良率曲线得到边缘平整度和良率关于时间的趋势图；基于趋势图确定更换晶圆工作台时对应的晶圆工作台的边缘平整度值。上述晶圆工作台平整度的监测方法可以提高监测方法的适用性且降低成本；并且在实现对晶圆工作台平整度的在线监测的同时还不会影响晶圆处理效率。并且，有利于操作人员知晓何时更换晶圆工作台，避免晶圆工作台磨损超过一定程度而造成晶圆的良率过低。
本发明授权晶圆工作台平整度的监测方法、装置、系统及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆工作台平整度的监测方法，其特征在于，包括： 实时获取晶圆的良率及焦距监控器检测的所述晶圆的原始焦距数据； 基于所述原始焦距数据，得到晶圆工作台的边缘平整度曲线，所述边缘平整度曲线反映所述晶圆工作台的边缘平整度关于时间的变化； 基于所述晶圆的良率，得到所述晶圆的良率曲线，所述良率曲线反映所述晶圆的良率关于时间的变化； 基于所述边缘平整度曲线和所述良率曲线，得到所述边缘平整度和所述良率关于时间的趋势图； 基于所述趋势图，确定更换所述晶圆工作台时对应的所述晶圆工作台的边缘平整度值。
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