拓荆科技股份有限公司鞠子辰获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利混合气体分流系统及控制分流气体流量的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115357058B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211151542.X，技术领域涉及：G05D7/06；该发明授权混合气体分流系统及控制分流气体流量的方法是由鞠子辰;姜崴;谈太德;荒见淳一;张健设计研发完成，并于2022-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本混合气体分流系统及控制分流气体流量的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种混合气体分流系统，包括：混气装置；分流装置，所述分流装置包含容器、分流管线及压力计，所述分流管线与所述容器的输出侧连通；所述混气装置与所述分流装置由一连通管线彼此连通，而所述容器设置于所述连通管线与所述分流管线之间，所述压力计连通于所述容器或所述连通管线，用来量测所述容器或所述连通管线的压力。解决了现有技术中存在的无法精确地在每次使用混合气体时进行分流和控制的技术问题，达到了提升制程均匀性，提升良率及特性的技术效果。
本发明授权混合气体分流系统及控制分流气体流量的方法在权利要求书中公布了：1.一种控制分流气体流量的方法，其特征在于，包括： 设定工序，设定混气装置中各汇流子管线中第一质量流控制器的流量成为所希望的混合比例； 调控工序，将分流装置的分流管线各分流子管线的第二质量流控制器，从充分开放逐步调整流速，使压力计读数趋于稳定； 计算工序，在所述压力计读数稳定时，将所述第二质量流控制器流速的总和除以所述第一质量流控制器的总和，而算出混合气体修正参数； 反馈工序，由所述混合气体修正参数，反馈给所述各分流子管线的第二质量流控制器，获得所述各分流子管线的真实流量。
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