北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)党景涛获国家专利权
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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利探针设备的工作台、探针设备、控制方法及探针测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115372672B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211007001.X，技术领域涉及：G01R1/073；该发明授权探针设备的工作台、探针设备、控制方法及探针测试方法是由党景涛;王洪洲;裴兵全;薛书亮设计研发完成，并于2022-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本探针设备的工作台、探针设备、控制方法及探针测试方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体器件检测技术领域，具体而言，涉及一种探针设备的工作台、探针设备、控制方法及探针测试方法，所述纵向导轨安装于所述底座，所述接物组件与所述纵向导轨在竖直方向上滑动配合，在竖直方向上所述拉力弹簧的一端固定于所述接物组件、另一端固定于所述底座，在竖直方向上所述凸轮位于所述底座和所述接物组件之间，所述顶杆的顶端固定于所述接物组件，所述顶杆的底端与所述凸轮的边沿滑动配合，所述电机与所述凸轮固定连接；相邻的两个所述偏心部的边沿的交点位于所述基圆部的边沿上。本申请的目的在于针对背景技术中所述的至少一种技术问题，提供一种探针设备的工作台、探针设备、控制方法及探针测试方法。
本发明授权探针设备的工作台、探针设备、控制方法及探针测试方法在权利要求书中公布了：1.探针设备的工作台，其特征在于，包括底座、纵向导轨、接物组件和升降组件，所述纵向导轨安装于所述底座，所述接物组件与所述纵向导轨在竖直方向上滑动配合，所述升降组件包括顶杆、电机、凸轮和拉力弹簧，在竖直方向上所述拉力弹簧的一端固定于所述接物组件、另一端固定于所述底座，在竖直方向上所述凸轮位于所述底座和所述接物组件之间，所述顶杆的顶端固定于所述接物组件，所述顶杆的底端与所述凸轮的边沿滑动配合，所述电机与所述凸轮固定连接； 所述凸轮包括基圆部和连接于所述基圆部的多个偏心部，各所述偏心部在所述基圆部的周向上均匀分布，所述偏心部的边沿为弧形，相邻的两个所述偏心部的边沿的交点位于所述基圆部的边沿上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)，其通讯地址为：100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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