应用材料公司T·S·周获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于远程等离子体工艺的对称中空阴极电极和放电模式的方法和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115398594B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180027331.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于远程等离子体工艺的对称中空阴极电极和放电模式的方法和设备是由T·S·周;S·K·纳塔拉加恩;K·D·沙茨;D·卢博米尔斯基;S·苏布拉曼亚设计研发完成，并于2021-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于远程等离子体工艺的对称中空阴极电极和放电模式的方法和设备在说明书摘要公布了：用于减少远程等离子体源RPS中的粒子产生的方法和设备，包括RPS，RPS具有第一等离子体源，第一等离子体源具有第一电极和第二电极，其中第一电极和第二电极关于中空腔对称，第一电极和第二电极经配置以在中空腔内引发中空阴极效应，并且其中RPS经配置以提供自由基或离子进入处理空间内；以及射频RF功率源，射频RF功率源经配置以在第一电极和第二电极上提供对称驱动波形，以产生RPS的阳极周期和阴极周期，其中阳极周期和阴极周期在中空阴极效应模式中操作。
本发明授权用于远程等离子体工艺的对称中空阴极电极和放电模式的方法和设备在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的设备，包括： 工艺腔室，所述工艺腔室具有腔室主体，所述腔室主体包围处理空间； 远程等离子体源RPS，所述远程等离子体源RPS具有第一等离子体源，所述第一等离子体源具有第一电极和第二电极，其中所述第一电极和所述第二电极关于具有锥形形状的中空腔对称，所述第一电极和所述第二电极经配置以在所述中空腔内引发中空阴极效应，并且其中所述RPS经配置以提供自由基或离子进入所述处理空间内；以及 射频RF功率源，所述射频RF功率源经配置以在所述第一电极和所述第二电极上提供对称驱动波形，以产生所述RPS的阳极周期和阴极周期，所述阳极周期和所述阴极周期在中空阴极效应模式中操作。
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