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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利微光探测装置和半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115406887B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110588521.3，技术领域涉及：G01N21/84；该发明授权微光探测装置和半导体设备是由许凯设计研发完成，并于2021-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本微光探测装置和半导体设备在说明书摘要公布了：该发明公开了一种微光探测装置和半导体设备，根据本发明实施例的微光探测装置包括：旋转平台、第一移动平台、第二移动平台、探针卡、进气口和出气口，旋转平台设有用于承载测试样品的透明的承载台；第一移动平台可转动地设在旋转平台上且可沿第一方向移动，第二移动平台可移动地设在第一移动平台上且可沿第二方向移动，第一方向与第二方向垂直，第一移动平台和第二移动平台与旋转平台配合限定出容纳仓，第二移动平台设有观测部，观测部形成为透明件以用于对容纳仓内部进行观察；探针卡沿竖直方向可移动地设在容纳仓内。所述装置能够为测试样品提供稳定的温度环境，而且能够调节探针卡，使得探测针准确扎在测试样品上。

本发明授权微光探测装置和半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种微光探测装置，其特征在于，包括： 旋转平台，所述旋转平台设有用于承载测试样品的透明的承载台； 第一移动平台，所述第一移动平台可转动地设在所述旋转平台上且可沿第一方向移动； 第二移动平台，所述第二移动平台可移动地设在所述第一移动平台上且可沿第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第一移动平台和所述第二移动平台内形成有底部敞开的中空结构，以与所述旋转平台配合限定出容纳仓，所述承载台位于所述容纳仓底部，所述第二移动平台设有观测部，所述观测部形成为透明件以用于对所述容纳仓内部进行观察； 探针卡，所述探针卡沿竖直方向可移动地设在所述容纳仓内且位于所述承载台和所述观测部之间； 进气口和出气口，所述进气口和所述出气口形成在所述第一移动平台或所述第二移动平台上且与所述容纳仓相连通，所述进气口用于向所述容纳仓内通入检测时所需的特定温度的气体，所述出气口用于将所述容纳仓内的气体排出； 所述旋转平台形成有气体进口和气体通道，所述气体通道与所述气体进口连通，以用于将所述气体进口流入的气体导向所述承载台的背离所述容纳仓的一侧，使得气体流经所述承载台的背面以对所述承载台进行降温或除霜。

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