上海微电子装备(集团)股份有限公司张一志获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利缺陷检测装置及缺陷检测的校正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115406905B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110594591.X，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权缺陷检测装置及缺陷检测的校正方法是由张一志;张逸群;娄尚;杨晓青设计研发完成，并于2021-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本缺陷检测装置及缺陷检测的校正方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种缺陷检测装置及缺陷检测的校正方法，其中，所述方法包括：照明单元提供远心光照作为测量光。测量光经待测物上的缺陷后产生散射光，图像探测单元获取散射光的光强，并根据光强获得缺陷信息。控制存储单元将散射光的光强与待测物的实时振幅，以获取并存储光强与振幅的对应关系，并以此来补偿所述光强，进而对缺陷信息进行校正。因此，本发明通过将散射光的光强与待测物的实时振幅相关联，并据此获得二者的对应关系，从而根据对应关系实现对光强的补偿，进而实现对缺陷信息的校正，避免了因内部运动机构和外部振动所引起的待测物的振动对缺陷检测精度的影响，以提高缺陷检测精度及产品良率。
本发明授权缺陷检测装置及缺陷检测的校正方法在权利要求书中公布了：1.一种缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置包括：照明单元、图像探测单元、焦面测量单元以及控制存储单元； 所述照明单元用于提供测量光； 所述图像探测单元用于获取所述测量光经待测物上的缺陷后发生散射并产生的散射光的光强，并根据所述光强获得所述待测物上的缺陷信息； 所述焦面测量单元用于测量所述待测物与所述图像探测单元之间的实时距离，并根据所述实时距离获取所述待测物的实时振幅； 所述控制存储单元用于将所述焦面测量单元的测量频率与所述图像探测单元的采集频率相匹配，使得所述图像探测单元获取的所述散射光的光强与所述焦面测量单元获取的实时振幅相匹配，以获得并存储光强与振幅的对应关系，以及根据所述对应关系补偿所述图像探测单元探测到的所述散射光的光强，以校正所述缺陷信息。
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