东京毅力科创株式会社田中诚治获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利排气网的制造方法、等离子体处理装置和排气网获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115513027B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210653807.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权排气网的制造方法、等离子体处理装置和排气网是由田中诚治;增泽健二;远藤一宪设计研发完成，并于2022-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本排气网的制造方法、等离子体处理装置和排气网在说明书摘要公布了：本发明提供一种排气网的制造方法、等离子体处理装置和排气网。所述排气网是在从等离子体处理装置的处理容器排出气体时使该气体通过的排气网，该排气网的制造方法的特征在于，包括：步骤a，准备多个金属板；步骤b，在所述多个金属板分别形成由多个六边形形状的贯通孔相邻配置而成的蜂窝结构，获得多个薄板蜂窝网；和步骤c，通过以所述多个薄板蜂窝网的所述多个贯通孔相互连通的方式层叠所述多个薄板蜂窝网，并将该多个薄板蜂窝网彼此接合，来制作形成为厚板的所述排气网。根据本发明，能够兼顾排气性能和放电稳定性。
本发明授权排气网的制造方法、等离子体处理装置和排气网在权利要求书中公布了：1.一种排气网的制造方法，所述排气网是在从等离子体处理装置的处理容器排出气体时使该气体通过的排气网，其特征在于， 所述排气网由不锈钢形成，且经由所述处理容器的具有排气口的下腔室和与所述排气口连接的排气管中的至少一者接地， 所述排气网的制造方法包括： 步骤a，准备多个金属板； 步骤b，在所述多个金属板分别形成由多个六边形形状的贯通孔以0.3mm～0.4mm的范围的间隔彼此相邻配置而成的蜂窝结构，获得多个薄板蜂窝网；和 步骤c，通过以所述多个薄板蜂窝网的多个所述贯通孔相互连通的方式层叠所述多个薄板蜂窝网，并将该多个薄板蜂窝网彼此接合，来制作形成为厚板的所述排气网。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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