上海华力微电子有限公司高得妍获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力微电子有限公司申请的专利背照式图像传感器及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115579371B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211212275.2,技术领域涉及:H10F39/12;该发明授权背照式图像传感器及其制造方法是由高得妍;赵春山;张武志;曹亚民;杨斌设计研发完成,并于2022-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本背照式图像传感器及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种背照式图像传感器及其制造方法,应用于半导体技术领域中。具体的,在本发明提供的背照式图像传感器的制造方法中,通过调整形成在背照式图像传感器堆叠结构的顶面上的BSGND结构与背照式图像传感器堆叠结构中的像素晶圆内的像素区域pixel的距离来实现减小像素区域pixel周围的硅衬底的损伤,从而减少器件暗电流的产生,进而减少漏电现象的问题,最终实现提高暗光下的图像质量的目的。
本发明授权背照式图像传感器及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种背照式图像传感器的制造方法,其特征在于,至少包括如下步骤: 提供一背照式图像传感器堆叠结构,所述背照式图像传感器堆叠结构包括相互键合的逻辑晶圆和内部形成有像素区域的像素晶圆,以使沿背离所述逻辑晶圆与所述像素晶圆的键合面方向的所述像素晶圆的底部,作为所述背照式图像传感器堆叠结构的顶面; 在所述背照式图像传感器堆叠结构的顶面上形成BSGND结构,并通过调整所述BSGND结构与所述像素区域之间的距离,以实现通过改变所述距离来降低所述背照式图像传感器的暗电流的目的; 其中,所述调整所述BSGND结构与所述像素区域之间的距离的步骤包括将所述BSGND结构与所述像素区域之间的距离增大到预设距离阈值,且所述预设距离阈值为25μm~250μm。
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