河南驭波科技有限公司杨利涛获国家专利权
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龙图腾网获悉河南驭波科技有限公司申请的专利用干涉法测量物体微运动速度的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115586346B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211126948.2,技术领域涉及:G01P3/68;该发明授权用干涉法测量物体微运动速度的方法是由杨利涛;甄西合设计研发完成,并于2022-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本用干涉法测量物体微运动速度的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用干涉法测量物体微运动速度的方法,包括干涉测量系统和检测镜,所述检测镜设置在物体的移动端上,所述干涉测量系统对检测镜表面进行测量,并记录光圈变化数量和对应的计数时间,根据光圈变化数量和对应的计数时间计算移动速度,移动速度=光圈变化数量*半波长尺寸空气折射率计数时间,半波长尺寸为干涉测量系统的激光波长尺寸。本发明能够对精确测量微小运动速度,满足高精度运行环境使用。
本发明授权用干涉法测量物体微运动速度的方法在权利要求书中公布了:1.一种用干涉法测量物体微运动速度的方法,其特征在于,包括干涉测量系统和检测镜,所述检测镜设置在物体的移动端上,所述干涉测量系统对检测镜表面进行测量,并记录光圈变化数量和对应的计数时间,根据光圈变化数量和对应的计数时间计算移动速度,公式如下: 移动速度=,波长尺寸为干涉测量系统的激光波长尺寸; 在干涉测量系统的测量窗口中,记录光圈初始中心位置和光圈偏位中心位置,并测量光圈初始中心位置和光圈偏位中心位置的距离b,光圈初始中心位置在计数时间开始时记录,光圈偏位中心位置在计数时间结束时记录; 对测量的提拉高度h1进行修正,提拉高度h1=,根据光圈初始中心位置和光圈偏位中心位置的距离b,用以下公式修正,得到实际的提拉高度h0: ; 根据实际的提拉高度h0计算移动速度,移动速度=提拉高度h0计数时间; 所述物体为提拉杆架,所述检测镜固定设置在提拉杆架顶部,所述提拉杆架内设置有提拉旋转电机,所述提拉旋转电机与晶体提拉杆连接,所述晶体提拉杆底部伸入晶体生长炉内,所述提拉杆架侧部与提拉升降导轨连接,所述提拉升降导轨与提拉减速电机连接;当光圈偏位中心位置发生变化且出现往复移动时,触发轨道维护提醒,导轨出现了抖动现象,需要进行维护,通过连续测量光圈初始中心位置和光圈偏位中心位置在变化前和变化后的距离b确定往复移动的状态。
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