佳能株式会社山本武获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利成膜设备、成膜方法和制造物品的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115679253B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210874546.4，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权成膜设备、成膜方法和制造物品的方法是由山本武设计研发完成，并于2022-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本成膜设备、成膜方法和制造物品的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及成膜设备、成膜方法和制造物品的方法。在被构造成经由掩模在基板上形成成膜材料的成膜设备中，基板保持部件保持基板，掩模保持部件保持掩模以使得掩模与保持在基板保持部件上的基板相对，磁力产生部件产生磁力以使保持在掩模保持部件上的掩模朝保持在基板保持部件上的基板弯曲成凸形，并且控制部件控制基板保持部件和磁力产生部件。控制部件控制磁力产生部件以使得掩模以第一曲率弯曲，并且控制基板保持部件以使得在掩模保持以第一曲率弯曲的状态下基板更靠近掩模并与掩模接触。
本发明授权成膜设备、成膜方法和制造物品的方法在权利要求书中公布了：1.一种成膜设备，其被构造成经由掩模在基板上形成成膜材料，成膜设备包括： 基板保持部件，其被构造成保持基板； 掩模保持部件，其被构造成保持掩模以使得掩模与保持在基板保持部件上的基板相对； 磁力产生部件，其被构造成产生磁力，用于使保持在掩模保持部件上的掩模朝保持在基板保持部件上的基板弯曲成凸形；和 控制部件，其被构造成控制基板保持部件和磁力产生部件， 其中，控制部件： 控制磁力产生部件，使得掩模以第一曲率弯曲，并且 控制基板保持部件，使得在掩模被保持以第一曲率弯曲的状态下基板更靠近掩模并与掩模接触。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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