恩替斯科技有限公司宣忠锡获国家专利权
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龙图腾网获悉恩替斯科技有限公司申请的专利传送机以及传送系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115692280B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210866778.5,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权传送机以及传送系统是由宣忠锡设计研发完成,并于2022-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本传送机以及传送系统在说明书摘要公布了:公开一种传送机,所述传送机,包括:底座部;上下轨道部,从所述底座部向上延长;机体,可沿所述上下轨道部上下移动;以及臂,具备:结合部,结合于所述机体、突出部,结合于所述结合部,向所述机体的前方突出、以及吸附部,形成在所述突出部的前端,用于吸附对象,其中,所述臂可相对于所述机体相对旋转。
本发明授权传送机以及传送系统在权利要求书中公布了:1.一种传送机,其中,包括: 底座部; 上下轨道部,从所述底座部向上延长; 机体,可沿所述上下轨道部上下移动; 臂,具备:结合部,结合于所述机体;突出部,结合于所述结合部,向所述机体的前方突出;以及吸附部,形成在所述突出部的前端,用于吸附对象;以及 真空形成结构, 其中,所述臂可相对于所述机体相对旋转, 所述吸附部,形成有向下开口的一个以上的吸附口、以及用于连通所述一个以上的吸附口与所述真空形成结构的气体移动通道,吸附对象的中心区域, 所述突出部的长度长于从所述对象的面向所述机体的边缘部分到所述中心区域的最外围部分的长度, 所述对象,具备:圆形块体、以及沿所述块体的圆周方向设置在所述块体上的多个晶圆。
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